Microwave Asher

[FEATURES]

• Asher (Descum공정, 전기적인 기능이 있는 Wafer적용불가)

• Wafer size  : Up to 200mm

• Wafer loading : Quartz boat를 이용한 manual loading 

 (Quartz boat는 기본사양에 포함되지 않음)

• Quartz chamber : 내경:306mm, 길이 : 450mm, 양쪽 플랜지 type

• Plasma Power : Magnetron(2.45GHz) 1,000W, power control

• Front Cover : 완충 Plate를 적용, 2개의 Interlock장치,

• 다공성 Ring형태의 Gas 분사판, View Port (Quartz)

• Process Pressure control  (100-1,000mtorr), ATM sensing

• Manometer(1000Torr), Throttle V/V로 자동제어

• Slow pumping 기능

• MFC - O2: 1000SCCM,  N2: 500SCCM

• Chamber purge : Needle valve에 의한 purge flow rate 조절